DBC气氛烧结炉用于铜和陶瓷基座直接键和的链式炉设备,总共含有16个温区,主要包括以下的配置:
用于产生N氮气气封和氮工艺环境的气路系统
带有MFC的氧浓度控制器(用于工艺区)
氧浓度测量和检测系统
设备具有以下专门针对高质量DBC生产的优势特点
非常均匀的温度均匀性
氧浓度的测量和控制系统
不产生颗粒灰尘的传送系统
使用温度RT-1100℃
炉膛均匀性优于±1℃
网带运行速度20-500mm/min数字可调
自动升温速率可调升温速率≤2℃/min
氮氧混合气体氧含量20-300pp可调
控温温区8-10温区
网带宽度200mm